Cha vợ Tuyên Đế là Dương Kiên, ông ngoại Chu Tĩnh Đế Vũ Văn Xiển đã chiếm trọn quyền hành, và năm 581 đã buộc Tĩnh Đế phải nhường ngôi cho mình, lập ra nhà Tùy. Toàn bộ hoàng tộc Vũ Văn, bao gồm cả Tĩnh Đế, sau này đều bị Dương Kiên tàn sát.

Năm người con Vũ Văn Thái là Ung Châu mục Tất vương Vũ Văn Hiền, Triệu vương Vũ Văn Chiến, Đằng vương Vũ Văn Do lần lượt bị tiêu diệt. Một người cháu của Hiếu Mẫn Đế; 6 người con, 5 người cháu của Vũ Đế, 3 người con của Tuyên Đế và 20 người có liên quan đều bị giết.

Tương Châu tổng quản Uất Trì Huýnh, Trịnh Châu tổng quản Tư Mã Tiêu Nan và Ích Châu tổng quản Vương Khiêm khởi binh chống lại Dương Kiên.

Dương Kiên phái Vi Hiếu Khoan tiến đánh quân Úy Trì Huýnh tại Tương Châu (An Dương, Hà Nam), phái Vương Nghị tiến đánh Tư Mã Tiêu Nan khởi binh ở Vân Châu (An Lục, Hồ Bắc), phái Lương Duệ tiến đánh Vương Khiêm tại Ích Châu, trong nửa năm bình định được các thế lực chống đối, thanh trừng 59 quý tộc Vũ Văn.

Dương Kiên xóa bỏ tất cả những họ mà trước đây vua Bắc Chu đã ban cho người Hán, quan viên người Hán được phục hồi họ cũ của mình, nên nhận được sử ủng hộ của người Hán.

Năm 581, ông phế truất vị vua cuối cùng của Bắc Chu là Vũ Văn Xiển, người đồng thời là cháu ngoại ông, lên ngôi hoàng đế, lập nên nhà Tùy. Chín năm sau, ông tiêu diệt nước Trần ở phía nam, thống nhất toàn bộ Trung Quốc sau gần 300 năm phân liệt.